Description de l'offre

Dans le cadre du projet FAMES et des développements menés au CEA-LETI sur la miniaturisation des puces microélectroniques FDSOI, de nombreux développements technologiques sont réalisés. Afin de répondre aux besoins en termes de nettoyage pour les nœuds technologiques avancés, de nouveaux équipements de traitement WET ont été achetés et installés en salle blanche. Le développement de nouveaux procédés de nettoyage particulaire est en cours sur ces équipements. Ce travail comprend plusieurs axes : l’évaluation de l’efficacité des procédés existants, l’optimisation des paramètres des recettes pour améliorer leurs performances et la vérification de la compatibilité des procédés avec des matériaux et/ou intégrations spécifiques. Des études de comparaison avec les procédés de nettoyage existants sont également menées. L’ensemble de ces missions s’inscrit dans le travail quotidien des ingénieurs et techniciens procédés du CEA-Leti.

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